高溫爐在使用過(guò)程中，根據工藝需要會(huì )通入保護氣體，那么這些氣體會(huì )對硅碳棒參數怎樣的影響呢？
水蒸氣的影響：水蒸氣（H2O）在1100℃時(shí)與SiC發(fā)生強烈化學(xué)反應，生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出現裂紋，電阻增長(cháng)速度很快。
二氧化硫（SO2）的影響：SO2在1300℃與SiC反應，故使用溫度應控制在1300℃以下。
氮氣（N2）的影響：當硅碳棒表面溫度達到1400℃時(shí)，N2就與SiC發(fā)生反應，生成氮化硅，使硅碳棒的電阻值顯著(zhù)增長(cháng)。
干燥空氣的影響：硅碳棒能在高溫（1600℃）、干燥的空氣中長(cháng)期使用，電阻緩慢增加。氧氣（O2）與SiC在高溫時(shí)發(fā)生反應，生成二氧化硅（SiO2）。由于硅碳棒表面形成了一層SiO2保護膜，因此硅碳棒具有很強的抗氧化性。
氫氣（H2）的影響：在1250℃時(shí)，H2與SiC發(fā)生反應，生成甲烷（CH4）,破壞SiC發(fā)熱體。
氯氣（Cl2）的影響：Cl2在600℃時(shí)就會(huì )與SiC發(fā)生反應，在1200℃時(shí)，Cl2會(huì )把硅碳棒完全分解。
氨氣（NH3）的影響：NH3在高溫時(shí)可分解成成N2和H2。故使用溫度應控制在1250℃以下。
好了，本小編也就知道這么多了，有不詳細的地方，還請多多包涵。
